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台阶仪的测量原理

中盛致远(北京)精密仪器有限公司2014年4月22日 17:03 点击:4431

    台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器,其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后,可将位移信号从调幅信号中解调出来,得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。
    台阶仪的组成包括台阶仪本体、隔振台、打印机、电脑等。

(来源: 中盛致远(北京)精密仪器有限公司


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